регистрация
На 1975 год Хроника

27.11.1975
В Институте физики полупроводников СО АН СССР впервые применен лазерный .отжиг ионно-имплантиро-ванных полупроводниковых слоев.
Новосибирск
Хроника, Наука, Сибирское отделение, 1982